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卡拉佩强补充道:"现代器件制造需经历数百甚至上千道化学蚀刻、沉积和热处理工序,每个步骤都会改变结构特征。过去我们只能通过投影图像推测实际情况,现在则能直接观测每个工艺环节后的真实结构,更精确掌握工艺参数与结构形貌的对应关系。"
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